硬质刀具涂层的连续/脉冲型双激光化学气相沉积机理研究

  • TiAlCN等硬质涂层能增加金属工件的表面硬度、耐磨性及抗腐蚀性,从而有效提高高速旋转条件下服役的刀具、模具及汽车零部件的精密度和使用寿命。本项目将大功率超高斯分布中波长连续激光和高能量短波长皮秒脉冲激光同时引入传统的化学气相沉积系统中,建立一种非传统的连续/脉冲型双激光化学气相沉积(DLCVD)技术,在金属基底上低温•高速制备择优取向及微观形貌可控的TiAlCN涂层。重点揭示DLCVD中不同功率、波长、频率和脉宽的激光照射对原料气体分子的分解促进机理;研究涂层的沉积速率、物相组成、微观结构、择优取向及结晶性对提高其耐磨性能的作用机理。项目的实施不仅能解决制备硬质涂层的科学技术问题,而且可应用于其他无机材料薄膜与涂层的制备技术与相应的理论基础。