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润滑科技信息平台
机械工程学会摩擦学分会 固体润滑国家重点实验室 摩擦学学报

硅基厚金属膜制造工艺基础

基本信息
  • 项目编号:

    2021YFB2011800

  • 项目金额:

  • 承担机构:

    清华大学

  • 资助机构:

    CN-重点专项

  • 项目起始时间:

    2021

  • 语种:

    中文

  • 项目类型:

    国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项

  • 项目负责人:

  • 项目终止时间:

    2024-01-01

    • 项目摘要

    • 相关网址
  • 相关链接: 暂无