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机械工程学会摩擦学分会 固体润滑国家重点实验室 摩擦学学报
金属离子注入改性非晶碳膜的制备方法
专利摘要

本发明公开了一种金属离子注入改性非晶碳膜的制备方法。本发明包括利用石墨及金属为原料，采用直流磁控溅射及离子注入的制备方法。其特点是：所制涂层是一种改性的物理气相沉积涂层，制备工艺相对简单，具有良好的抗磨损及润滑性能，可作为器件表面减摩抗磨涂层使用。 ......

基本信息
  • 专利类型:

    发明专利

  • 申请/专利号:

    CN01143088.5

  • 申请日期:

    2001-12-17

  • 专利申请人:

    中国科学院兰州化学物理研究所

  • 分类号:

    C23C14/06;C23C14/34;C23C14/48

  • 发明/设计人:

    阎逢元 ， 韩修训 ， 张爱民 ， 刘维民

  • 权利要求: 1.一种金属离子注入改性非晶碳膜的制备方法，其特征在于包括制备步骤：(1)溅射靶的压制：将300～500目石墨粉在107～109pa的压力下压制成厚2.0～3.0mm，直径50～65mm的石墨靶；(2)涂层的沉积：将压制的石墨靶作为直流磁控溅射装置的阴极，在0.1～5.0Pa的沉积气压下进行靶表面的溅射清洗，溅射气氛为纯Ar；将基底充分清洗后送入真空室样品台，在0.1～5.0Pa的Ar下进行溅射沉积，沉积过程中在基底上施加80V～250V负偏压，涂层总厚度控制在10～200nm；(3)金属离子的注入：金属离子注入在金属离子注入机上进行，利用金属棒作为靶源，加速电压30～100kV，弧流30～70A，束流密度0.1～1.5mA/cm2，注入剂量为1×1013～1×1016离子数/cm2。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于金属离子为银、铬、镍的其中之一。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于金属离子的注入过程中真空度不低于1×10-3pa。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于涂层的沉积过程中基底选用单晶硅片、不锈钢、轴承钢。
原文

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